アルミニウム蒸着ってどうするんですか?

1 2002/05/27(月) 13:33:00 ID:
蒸着自体の操作もどうやっていいかわかりません。
誰か教えて下さい!!

2 名も無きマテリアルさん 2002/05/27(月) 20:17:00 ID:
先輩に聞けよ

3 名も無きマテリアルさん 2002/05/27(月) 20:51:00 ID:
>>1
趣味の日曜大工か何かでAl蒸着を
しようというのだろうか?
もし、研究室の人間であれば、あまりに痛すぎる。
いや、悲劇かも知れない。
>>1は研究室で孤立し、蒸着について他人に
尋ねることもままならないのだろうか?
もし、研究室で孤立していても、
学生であれば、図書館などで調べることも
可能な筈。それもままならないとなれば、
図書館に出入りを禁止されるようなDQNなのか?
研究室も図書室も駄目ならどうするのか?
まだネット上で調べることも出来る。
詳細はともかく何かしら調べることが出来るはず。
別に日本語に拘らなければ結構な情報量はあると予想される。
なのに、なのに、このスレを立てたということは、
それすらも出来なかったと私は理解する。
つまり、ネットにつながっても、
検索エンジンも使えず、2chにスレを立てる。

研究室も駄目。
図書館も駄目。
検索も駄目。
・・・挙句にスレを立てる。

もし、これが自分だったら、
恥ずかしくて生きていけない。

これが、友人だったら、
もはや友人と呼ぶことは無い。

これが、彼女だったら、
今までのことは無かったことにしたい。

これが、肉親だったら、
もはや、他人の振りをするしかない。

そもそも、このスレを立てたのが、
人間であるならば、人に絶望する。

4 名も無きマテリアルさん 2002/05/28(火) 01:57:00 ID:
>>4
大目にみてやれ。(w

5 名も無きマテリアル 2002/05/28(火) 10:57:00 ID:
> 4
5に同意だ、大目に見てやれ
いくら本や論文を読んでも研究室に教えられる奴がいない
状態から始めるのはかなり困難だしな。

> 1
業者を呼んで教えてもらうか(金かかるけど)
丸善の実験物理学講座4でも読んでなってこった。

6 名も無きマテリアルさん 2002/05/28(火) 11:32:00 ID:
( ´∀)・∀),,゚Д)http://diary.cgiboy.com/d01/tsugeikuhito/

7 加奈 2002/05/28(火) 12:52:00 ID:
EB蒸着

8 名も無きマテリアルさん 2002/05/28(火) 13:04:00 ID:
28 名前:西村の同級生 投稿日: 2001/02/12(金) 10:08
中学の頃クラスでイタズラ電話や下駄箱の靴が紛失する事件が頻発したんだけど
その時、女子の間では「犯人西村」説が跋扈していた。
真相は藪の中だけど、実は私もそう思ってたうちの一人。
証拠もないのに疑いをかけるのは悪い事だと思うけど、西村にはそういう嫌疑を抱かせる
雰囲気があったのも事実。

9 ◆RJTXcpFI 2002/05/28(火) 17:33:00 ID:
てすてすと

10 名も無きマテリアルさん 2002/05/28(火) 22:43:00 ID:
ってか、>>1は何処へ?

11 名も無きマテリアルさん 2002/05/29(水) 00:30:00 ID:
Alの蒸着は結構面倒です.
Alは這い上がりの性質があるため,抵抗加熱による坩堝では
短時間でAlが坩堝から溢れ出し,坩堝全体をAlコーティングしたような状態になります.
当然,不安定です.最悪,蒸着がストップします.
対策としては出来るだけ多孔質な坩堝を使わない,などありますが結局は頻繁な交換が大切です.
また,Al専用セルがあるのでそれを使うのも良いかと.
1970年代にはAlNの蒸着によるエピタキシャル成長の論文が結構あるので参照してみては.

12 名も無きマテリアルさん 2002/05/29(水) 00:53:00 ID:
>>1が哀れではある。

>>8にも出てたように、
エピじゃなくて、蒸着ならEBでいいのでは?

13 名も無きマテリアルさん 2002/05/29(水) 05:34:00 ID:
W線にAl線巻いて抵抗加熱。

14 装置屋太郎 ◆187RZS9w 2002/05/29(水) 08:56:00 ID:
しかし、Al蒸着といってもどんな素材にどのくらいの膜厚でつけたいのかわからないし、
1が説明責任を果たさないうちに周りで詳しく議論しても無意味と思われ。

15 名も無きマテリアルさん 2002/05/30(木) 00:21:00 ID:
アルミ蒸着は結構奥が深いと思われ。

EBでやるとアルミが合金を作るので、めったな坩堝が使えません。
PBNとか使う必要あります。ただし高価。

抵抗加熱でも>12のおっしゃるようになります。きついです。

しかし、純アルミの場合、スパッタはもっと難しいです。
不純物がないと表面がボコボコします。


アルミ蒸着は金属の中ではかなり難しい部類といわざるを得ないでしょう。

16 名も無きマテリアルさん 2002/05/30(木) 18:37:00 ID:
>>1
お前臭い。

17 名も無きマテリアルさん 2002/05/30(木) 23:05:00 ID:
>>1
戻ってこい。

18 名も無きマテリアルさん 2002/07/26(金) 20:56:00 ID:
>>16
純アルミのスパッタ難しいかなぁ・・・ターゲットはボコボコになるけど,
特に問題なく鏡面に出来るなぁ・・・
但し,半導体基板使ってます.膜厚は数μmまで.

真空悪いと濁るけど

19 名も無きマテリアルさん 2002/07/26(金) 21:16:00 ID:
>>16
最近のスナック菓子にはアルミ蒸着されたフイルムが使われている。
どこが難しいのやら。

20 名も無きマテリアルさん 2002/07/30(火) 18:48:00 ID:
技術の事は詳しくないのですが、スナック菓子の袋はラミネート処理では?
素人なんで、まったくわかりませんが・・・・・

21 名も無きマテリアルさん 2002/07/30(火) 19:15:00 ID:
>>1
宇宙刑事ギャバンに聞け

22 名も無きマテリアルさん 2002/07/30(火) 23:08:00 ID:
>>20

シルク印刷でないの?

たかだかお菓子の袋にコスト高のプロセスいらないと思う。

23 名も無きマテリアルさん 2002/07/30(火) 23:42:00 ID:
>>21,23
せめてアルミ蒸着フイルムで検索してから物を言いましょう。




24 名も無きマテリアルさん 2002/07/30(火) 23:44:00 ID:
スナック菓子の袋やコンビに弁当のケースは、アルミ蒸着されたプラスチックフイルムが使われています。
蒸着フイルムの上に印刷するのでアルミの光沢はあまり表面に出ません。
アルミによる遮光効果とガスバリア効果と装飾効果を兼ねています。
フイルムは幅600mmから1mほどで、袋用の薄物は一巻きで3万メートルぐらいを一遍に蒸着します。
蒸発源は抵抗加熱はBNコンポジットボート(アルミのワイヤーフイ-ド)か
高周波加熱は黒鉛ルツボが使われます。
大手の繊維メーカーの関連会社などで大量に生産されています。

25 親切な人 2002/07/31(水) 00:05:00 ID:

ヤフーオークションで、凄い人気商品、発見!!!

「 RX-2001 」がパワーアップした、
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26 名も無きマテリアルさん 2002/08/01(木) 08:14:00 ID:
CVD法(化学蒸着)

27 名無しさん 2003/01/04(土) 01:23:00 ID:
         / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄\
Λ_Λ  | 君さぁ こんなスレッド立てるから          |
( ´∀`)< 厨房って言われちゃうんだよ             |
( ΛΛ つ >―――――――――――――――――――‐<
 ( ゚Д゚) < おまえのことを必要としてる奴なんて         |
 /つつ  | いないんだからさっさと回線切って首吊れ     |
       \____________________/

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)

28 名も無きマテリアルさん 2003/01/04(土) 20:41:00 ID:
簡単に考えましょう
鍋に水を入れガスコンロで加熱すると湯気が立ちます。
その湯気に紙またはフィルムをかざすと
紙に水蒸気がつきます。原理はこれです。
鍋→黒鉛ルツボ 加熱源→抵抗加熱等々
水→アルミ
紙は紙
ただし大きく違うのは、アルミ蒸気を
飛ばしやすくするため、真空にすることです。

29 山崎渉 2003/01/06(月) 15:30:00 ID:
(^^) 

30 山崎渉 2003/03/13(木) 13:31:00 ID:
(^^)

31 名も無きマテリアルさん 2003/03/13(木) 15:15:00 ID:
スチームアイロン

32 名も無きマテリアルさん 2003/03/13(木) 16:03:00 ID:
http://www.pink-angel.jp/betu/index.html
★いらっしゃいませ!!ようこそココへ★

33 丸茂正 2003/03/18(火) 23:03:00 ID:
吉原某ソプ嬢の本名を近日中に公開する予定です。

34 名も無きマテリアルさん 2003/04/12(土) 01:06:00 ID:
1ではないが、DQNなためか、Alの蒸着がうまくいかんことがある。
アンタラの知ってる限りを教えれくれ。コツでも何でも良い。
現在の手順は以下の通り。

目的:GaAs、GaP、InP他、III-V族化合物半導体へのショットキー接触
方法:抵抗加熱
詳細:Taボート使用。ボートDEGAS後、前処理済みの試料をチャンバに。
    真空度2E-6Torrで蒸着開始。膜厚は水晶振動子にてモニタ。
    膜厚300nm程度。φ300um-1mm。金属マスク使用。成膜速度は適当、、。
    蒸着源から試料までの距離は25cm程度。
症状:C-V測定で逆バイアスを増加させたらCが一時的にデカクなった。
    (0V→-1Vくらいで増加、-1V以降は減少)
    同時に蒸着した電極はほぼ全て同じ症状。
    同試料を別日に再蒸着したりすると、問題なかったりする。
    さらに、1/C^2を掃引して求めたVbiが明らかに変な値(40eVとか)。
ちなみにNdはホール測定の値に近い値となっていマス。

以上、ご指摘いただきたい。大事な試料をこれ以上無駄にできん。
成膜速度はどれくらいが適当ですか?真空度はもっと良い方が良いですか?
逆バイアス増でCが増加するって、何が考えられますか?(思い当たる節はナシ)
Vbiがおかしくなることってあるんですか?(思いあたる節は一点ある)
AlよりもAuのが良いですか?TaボートとかWボートは普通は使用しないですか?

マジDQNでスイマセン。半年ほど自分で調べようと頑張りましたが、
できませんでした。教えてください。

35 名も無きマテリアルさん 2003/04/14(月) 20:47:00 ID:
全身全域ホンダイズムの
フロントエンブレムってこれか?

36 山崎渉 2003/04/20(日) 04:34:00 ID:
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

37 名も無きマテリアルさん 2003/04/29(火) 23:54:00 ID:
>>35 ショトキ-は不安定。

38 名も無きマテリアルさん 2003/05/09(金) 01:02:00 ID:
アルミは 2E-6 Torr くらいだと、かなり速い成膜速度で
つけないとだいぶ酸化しちゃうんじゃないかなあ。
私らは W のフィラメントに Al の 1mmφくらいのワイヤを
ペンチで捻って止めて、2~4 nm/s くらいでつけました。
でも XPS でみたらかなり酸化してた。

39 名も無きマテリアルさん 2003/05/14(水) 02:50:00 ID:
真剣に電子レンジでチンしてたよ。
吸着じゃないか。ジュースの中にどのくらいアルミがでるかっての

40 名も無きマテリアルさん 2003/05/14(水) 22:19:00 ID:
>詳細:Taボート使用。ボートDEGAS後、前処理済みの試料をチャンバに。

>同時に蒸着した電極はほぼ全て同じ症状。
>同試料を別日に再蒸着したりすると、問題なかったりする。

前処理(洗浄とか)の問題はないですか。ショットキーは微妙だと思いますよ。

41 動画直リン 2003/05/14(水) 22:23:00 ID:

42 名も無きマテリアルさん 2003/05/15(木) 01:46:00 ID:
かわいいかも・・・・・(*´∀`*)ハァハァ
http://plaza16.mbn.or.jp/~satchel/omoshiroi/

43 名も無きマテリアルさん 2003/05/15(木) 22:03:00 ID:
前処理の問題に一票
例えば水、どんな水使ってる?

44 山崎渉 2003/05/17(土) 15:06:00 ID:
聖水

45 _ 2003/05/17(土) 15:26:00 ID:

46 名も無きマテリアルさん 2003/05/17(土) 18:18:00 ID:
>>44
俺の(ry

47 山崎渉 2003/05/21(水) 21:49:00 ID:
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

48 山崎渉 2003/05/21(水) 23:45:00 ID:
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

49 35 2003/05/25(日) 03:22:00 ID:
>>41,44
前処理ですか。有機洗浄 → エッチング(試料によって異なる) →
純水(14MΩ)にてオーバーフロー → 窒素雰囲気中でベーク(150℃)→ 蒸着
という手順です。注意してるのは、大気に長いこと放置しない ということくらいです。

SZEをはじめ、半導体の本には、ショットキーのCV特性が載っていますが、
本のようにはうまくいかないものなのでしょうか?

50 名も無きマテリアルさん 2003/05/27(火) 22:33:00 ID:
ギャバンだろ

51 44 2003/06/15(日) 16:49:00 ID:
>>35
>窒素雰囲気中でベーク(150℃)
なんかこれが凄く嫌だ・・・N2ブローだけでやめられないか?
あとはエッチャントを別系統のものにしてみるか、作成条件を極端に振ってみるか
それでもだめなら別の人にやらせてみるという手もある。自分の自覚していない行程ミスがあるかもしれないから

52 35 2003/06/25(水) 03:02:00 ID:
>>44
アドバイスありがとうございます。まず、N2ベークはなしで、
ブローのみでやってみます。結果は追って報告。(いつになるやら)
ちなみに、過去に先輩が同じプロセスで行った場合も、
ショトキーの逆バイアス増加で、容量C増加、という現象は現れました。

53 名も無きマテリアルさん 2003/06/25(水) 05:23:00 ID:
アソコを癒す清涼サイト
http://homepage3.nifty.com/coco-nut/

54 名も無きマテリアルさん 2003/06/26(木) 23:54:00 ID:
IVはダイオード特性示してるんだろうね
CVしか測ってませんって言うオチはやめてよ

55 山崎 渉 2003/07/12(土) 12:31:00 ID:

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

56 35 2003/07/13(日) 03:28:00 ID:
53の結果:N2ブローでもだめでした。
>>55
順方向1V、逆方向(最大)-5Vくらいです。
化合物のショットキーって、このくらいの値ですかね??
普通はもっと、耐圧ありますか??

57 名も無きマテリアルさん 2003/07/13(日) 16:52:00 ID:
私のマンコみたいかな♪

http://akipon.free-city.net/page001.html

58 山崎 渉 2003/07/15(火) 12:34:00 ID:

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

59 ぼるじょあ ◆yBEncckFOU 2003/08/02(土) 03:23:00 ID:
     ∧_∧  ∧_∧
ピュ.ー (  ・3・) (  ^^ ) <これからも僕たちを応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄ ̄∪ ̄ ̄〕
  = ◎――――――◎                      山崎渉&ぼるじょあ

60 山崎 渉 2003/08/15(金) 18:17:00 ID:
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

61 名も無きマテリアルさん 2003/10/25(土) 19:29:00 ID:
♪男なんだろ? グズグズするなよ。胸のエンジンに火をつけろ!
俺はここだぜ一足お先。光の早さで明日へダッシュさ!若さ若さって何だ!
振り向かないことさ!愛ってなんだ!躊躇わない事さ!ギャバン!あばよ涙、
ギャバン!宜しく勇気。宇宙刑事ギャバン!

62 ふんっ、蒸着!! 2003/10/25(土) 19:34:00 ID:
♪悪い奴らは、天使の顔して、心で爪を研いでるものさ!
俺もお前も名も無い花を、踏みつけられない男になるのさ!若さ若さって何だ!
諦めないことさ!愛ってなんだ!悔やまないことさ!ギャバン!あばよ涙、
ギャバン!宜しく勇気。宇宙刑事ギャバン!
若さ若さって何だ!振り向かないことさ!愛って何だ!躊躇わないことさ!
ギャバン!あばよ涙、ギャバン!宜しく勇気。宇宙刑事ギャバン!!

63 60 ◆LFBbWxBC8Q 2003/11/10(月) 18:40:00 ID:
>>61
ワラタ

はなしは変わるけど、携帯ゲーム機"プレイステーションポータブル(PSP)

 久夛良木氏は,“PSPはゲーム業界が待ち望んだ究極の携帯機”として説明。「ここまでやるかと言われるスペックを投入した」という。
 発表によれば「PSP」は,曲面描画エンジン機能を有し,3Dグラフィックでゲームが楽しめる。
7.1chによるサラウンド,E3での発表以来,クリエイターたちにリクエストが高かった無線LANも搭載(802.11)。
MPEG-4(ACV)による美しい動画も楽しめるという。これによりゲーム以外の映画などでのニーズも期待する。
 外部端子で将来,GPSやデジタルチューナーにも接続したいとする。
また,久夛良木氏は,繰り返し「コピープロテクトがしっかりしていること」と力説。会場に集まった開発者たちにアピールしていた。
 さらに,ボタン設定なども明らかにされ,PS同様「○△□×」ボタン,R1・L1,アナログスティックが採用される。

この際、スク・エニもGBAからPSPに乗り換えたらどうでしょう。スク・エニの場合、PSPの方が実力を出しやすいような気がするんですが。
任天堂が携帯ゲーム機で圧倒的なシェアをもってるなら、スク・エニがそれを崩してみるのもおもしろいですし。かつて、PS人気の引き金となったFF7のように。

いきなりこんなこと書いてすまそ‥
GBAと比べてみてどうなんでしょうか?(シェア以外で)

64 名も無きマテリアルさん 2003/11/30(日) 06:00:00 ID:
ここは生きてるのか?

Wボートでアルミ蒸着すると、Wボートがサクサククッキーになるのが
おもろしかったな。

あと、EBでTaハースライナでも合金つくるし、グラファイトでは割れるし。

結局はBNのボートが良かった。しかし、取り外しで力を入れた新入生が
ポキッと折ってくれたので、少し泣きそう。結構高いし。


65 バッカスの崖 2003/12/16(火) 05:36:00 ID:
JEOLの蒸着装置使えば・・・・ダメ?

66 名も無きマテリアルさん 2004/03/26(金) 23:42:00 ID:
らせん型坩堝を使って蒸着すればいいじじゃん。

67 名も無きマテリアルさん 2004/12/25(土) 12:49:22 ID:

68 名も無きマテリアルさん 2004/12/30(木) 14:41:53 ID:
>>4
素晴らしい

69 名も無きマテリアルさん 2005/02/04(金) 15:30:28 ID:

「蒸着!」

宇宙刑事ギャバンがコンバットスーツを蒸着するタイムは、
わずか0.05秒にすぎない。

では蒸着プロセスをもう一度見てみよう。

70 名も無きマテリアルさん 2005/02/05(土) 00:49:09 ID:
ここのスレッドにそぐわないかも知れないけど。
電解アルミってよく聞くんですが、普通のアルミと何か違うんですか???

71 名も無きマテリアルさん 2005/02/05(土) 01:08:57 ID:
>>71
それはアルミ電解コンデンサのことではないか?

72 名も無きマテリアルさん 2005/02/06(日) 00:12:30 ID:
電気分解で作ったという意味ではないのですか?
でも、アルミって基本的に電気分解ですよね・・・

73 名も無きマテリアルさん 2005/02/06(日) 06:20:05 ID:
age

74 名も無きマテリアルさん 2005/04/02(土) 23:09:09 ID:
すいません、文系一般人なもので教えて下さい。
フライパンにアルミ製の蓋をして料理していたら蓋が取れなくなりますたウワワーン!
これが蒸着っていうのかわかりませんが。。。
とりあえず工具で一部ブチ破って中味を取り出したのですが、蓋はやはり取れません。
一体どうしたらフライパンから蓋を取り外すことができるのでしょうか?

75 名も無きマテリアルさん 2005/04/02(土) 23:36:02 ID:
あげます

76 名も無きマテリアルさん 2005/04/03(日) 14:52:23 ID:
接合面が何でついちゃったかによるけど。まさか金属が
溶ける温度にはならんでしょうが、フライパンの材質は?
苦労するよりは新品を買ったほうが結局安上がりな気が
しないでもないです。

ちなみに蒸着は「蒸」気にして「着」けるやりかたなので、
今回のはちがいます。たぶん。

77 名も無きマテリアルさん 2005/04/04(月) 02:07:40 ID:
>>75
 フライパンが熱膨張しているときにふたが深く入りこんでしまい、
その状態で火からおろされて冷却されたためにフライパンが収縮して
がっちりはまったというスジはどうだろう。

78 75 2005/04/05(火) 00:03:46 ID:
>>77
ありがとうございます。
フライパン自体もそんなに高いものでもないので、とりあえず処分の方向で考えます。
蒸気にして着ける工法があるのですか。一つ勉強になりました。

>>78
火はつけっ放しです。あ、でも少し火から外したかも。
その時に、フライパンの方が先に冷えたのが原因なのですかね??

79 名も無きマテリアルさん 2005/08/21(日) 21:59:16 ID:
金薄膜(111)を作ってるんだけど
いい膜が得られません。

モリブデン板に金をのせて真空度10-6Torr台で
抵抗加熱てな具合でやってます。

金を何グラム位のせたらいいのか
蒸着源から試料までの距離はどの位がいいのか等々。

詳細な解答頼みます。

80 名も無きマテリアルさん 2005/08/23(火) 20:49:01 ID:
なにを持って「いい膜」というかに依存するでは。

距離は普通 30cm 以上離しますね (輻射熱を避けるため)。
載せる量は必要な膜厚から計算しましょう。

81 名も無きマテリアルさん 2005/08/26(金) 17:16:04 ID:

82 名も無きマテリアルさん 2005/08/30(火) 21:16:18 ID:
BNは高真空で2000℃くらいまでは余裕で耐えます。
BNが2000℃で作られるから。BNは優秀です。
2000℃では水も燃えます。

83 80 2005/09/05(月) 04:05:22 ID:
金薄膜をXRDで測定したんですが、
(111)の付近でまったくピークが出ない
のはどうしてでしょうか?

膜の端付近では出るのですが・・・。


84 名も無きマテリアルさん 2005/09/12(月) 18:37:25 ID:
>>84
ピークが出ないことはないと思う。
私はとった事がないからわかんないけど・・・。

85 名も無きマテリアルさん 2005/09/12(月) 19:32:40 ID:
あるみさんは、蒸着しても膜表面はぼこぼこよ。
AFMで見れば分かると思うけど。

そんで、AlNdつかえって言っているのだよ。

ま、表面だけでなく界面も均一かどうかは疑わしいのだが……

86 名も無きマテリアルさん 2005/09/17(土) 15:45:30 ID:
>>83
うちで使ってるPBN坩堝は1300℃(局所的にはもっと高温かも)越えたあたりで
多分分解を始めてN2が死ぬほど出てくるんだが。信○化学のやつだけど。

87 名も無きマテリアルさん 2005/09/17(土) 15:47:45 ID:
>>84=80
蒸着基板は何を使ってどういう処理をしてますか?

>>81
基板温度がある程度高い方が平坦な膜になりそうですが。
人によっては蒸着後アニールしてテラスを広げるとかするみたいだし。

88 名も無きマテリアルさん 2005/09/17(土) 19:27:23 ID:
>>88
ありがとうございます。
基板はマイカです、500℃位で数時間加熱してから
蒸着しています。

最近はタングステンコイルでやっているんですが
これもダメでした。金線は1g程度で行っています。

XRD測定では111が出来ていれば必ず38-39°付近に
ピークが出ると思うのですが。基板の端付近でピーク
が出て中心付近のいい場所で出ないのはどうしてでしょうか?



89 名も無きマテリアルさん 2006/02/17(金) 10:35:08 ID:
宇宙刑事ギャバンがコンバットスーツを蒸着するタイムはわずか0.05秒に過ぎない。
では蒸着プロセスをもう一度見てみよう。
http://gazo14.chbox.jp/tokusatsu/src/1137814041546.wmv

90 名も無きマテリアルさん 2006/03/08(水) 09:48:41 ID:
いますか?
スレ違いor板違いかもしれませんがちょっと悩んでます。
膜厚12.5μmのポリイミドの両面に100nm厚のアルミ蒸着をしています。
この蒸着面にAWG40(7/0.03)の銅線を接合したいのですが(両面とも)
何か良い方法はないでしょうか?
アルミ半田を手付けで試みたのですが、熱の為?あっという間に表面の
アルミ層が消えてしまいます。
現在は導電性接着剤(2液混合タイプ)を使い恒温槽に入れて乾かしていますが
この方法だと時間がかかりハンドリングも悪く、20個ぐらい作るのに心身ともに心身症です。
超音波溶接のようなものも考えていますが、膜厚を考えるとどうなのかな?と
悩んでいます。
なにか良い方法はありますでしょうか?

91 名も無きマテリアルさん 2006/03/09(木) 23:30:51 ID:
マジですごいです!!なんでもホントに一円で買える!!ホントにホン
トだから登録してみて!!命を懸けてもいいです!マジでマジで一円で
何でも買えるサイト!
http://www.1yen.tv/stall/intro.cgi?intro=kyonkyon

92 名も無きマテリアルさん 2006/05/01(月) 11:13:58 ID:
おまえらアルミじゃなくアルミナ蒸着はどうよ?

関心ある?

93 名も無きマテリアルさん 2006/05/06(土) 12:00:56 ID:
>>91
Agペースト

94 1 2006/05/06(土) 16:38:53 ID:
W使ったら一発目でちぎれちゃったよ。
やっぱりBNに落ち着いた

95 名も無きマテリアルさん 2006/05/12(金) 01:06:24 ID:
BNって大電流流せる電源じゃないともしかしてだめ?
100Aは必要?

96 名も無きマテリアルさん 2006/05/13(土) 20:13:36 ID:
サイズによるんじゃないの

97 名も無きマテリアルさん 2006/05/23(火) 19:47:46 ID:
Alの蒸着ボートをWからBNボートに変えようと思っています。
厚さが全然違うのですが、そのまま交換してもよいのでしょうか?
それとも普通の抵抗加熱では使用できないのでしょうか?

あと使っているBNボートのメーカーや型番など教えていただけると
ありがたいです。よろしくお願いします。

98 名も無きマテリアルさん 2006/09/20(水) 16:15:33 ID:
アルミ蒸着した後の掃除って
何をすればよいですか?

前まで金を蒸着していた時はエタノール
でできたのですが・・・。

窓がアルミで見えなくなってしまいました。

99 名も無きマテリアルさん 2006/09/20(水) 19:40:51 ID:
茅原実里~みのりん~スレ8
http://anime.2ch.net/test/read.cgi/voiceactor/1158705382/l50

100 名も無きマテリアルさん 2006/09/24(日) 01:37:29 ID:
>>99
うちではアルミナのパウダー (試薬屋さんに注文できる) を
エタノールに分散させて磨いてます。

101 名も無きマテリアルさん 2006/09/24(日) 16:30:15 ID:
>99
うちでは、はずせる部品はNaOH水溶液に浸して溶かしちゃってます。

102 名も無きマテリアルさん 2006/12/21(木) 16:23:44 ID:
EBでやっている方いますか?

103 名も無きマテリアルさん 2007/01/01(月) 18:58:08 ID:
えぇ、まあ。

104 名も無きマテリアルさん 2007/05/21(月) 04:20:30 ID:
>>103
だいぶ亀だが俺だ…

結局また水晶振動子の調子がおかしくなってやり直しになったorz

105 名も無きマテリアルさん 2007/07/25(水) 17:38:46 ID:
突然すみません。アルミニウムじゃないのですが、
亜鉛の真空蒸着って特別に注意する点ってありますか?
Wのバスケットに亜鉛を入れて、真空中で蒸着しようと考えてるのですが
うまく膜を作ってくれません。
同じやり方で銅の蒸着をしたら上手くいくのですが…。

106 名も無きマテリアルさん 2007/07/26(木) 00:21:41 ID:
>>106
うまく膜にならないっていうのは、どんな状態になるんですか?

107 名無しさん@そうだ選挙に行こう 2007/07/29(日) 13:20:43 ID:
>>107
まったくZn膜ができないのです。

108 名無しさん@そうだ選挙に行こう 2007/07/29(日) 15:15:15 ID:
>>108
ちゃんと蒸発源から気化しているのでしょうか?
蒸着レートはモニターできてますか?
どのような条件で蒸着しているか分からないとヒントも出せないですよ。

109 名も無きマテリアルさん 2007/07/31(火) 03:53:27 ID:
すみません。
一応10^-5Torrの真空で5gのZnをTiAl試料に蒸着しようとしています。
ZnはWのバスケットのなかに入れているんですが、Wバスケットを加熱するとすぐに
融解した後、見えなくなるので気化していると思います。

110 名も無きマテリアルさん 2007/07/31(火) 19:57:20 ID:
>>110
気化して膜にならないそうですけど、チャンバー内にはZnは付着していますよね?
それなら試料との間に何か邪魔な物があったとか。
Znはやったことないですけど、Mgみたいにやりにくい材料なんかは、試料を大気に
出したとたんに膜がはがれ落ちたりしましたけど、そういうわけではなさそうですね。

一度蒸着レートを出来るだけ抑えてみては?
>Wバスケットを加熱するとすぐに融解した後、見えなくなるので気化していると思います。
一瞬で材料が無くなるって事は、あまり広範囲に材料が飛び出しておらず、試料とちがう
所に集中してZnがついているのかと。
試料は蒸発源の直上ですか?

111 名も無きマテリアルさん 2007/08/02(木) 12:26:32 ID:
>>111
返信ありがとうございます。
試料は蒸着源の真下になっています。装置がそういう仕組みみたいで。
この場合、試料を上にもっていかないとだめなのでしょうか?
とりあえず、蒸着レートを出来るだけ抑えてみることにしてみます。

112 名も無きマテリアルさん 2007/08/02(木) 23:03:00 ID:
>>112
>この場合、試料を上にもっていかないとだめなのでしょうか?
いや、しなくていいですよ。
試料の真下に蒸発源があるのならどのみち膜がつくだろうし。
低レートで膜がつかなかったら、素ガラスとかSiウエハとかで一度試してからやってみて。

113 名も無きマテリアルさん 2007/11/14(水) 14:54:23 ID:
Znの蒸気圧が高いと言う話を聞いたけど,
Znがうまくつかないってのはそのせいだったりしないかね.

ところで,BNボート買おうかと思って,必要な電力量を聞いたら
アルミを飛ばすのに必要な電流電圧が190Aで9Vとか言われたんだけど,
こんなもん? 6mm*3mm*110mmのやつだけど.

みんなすごい電流で蒸着してるのかね.信じられない.

114 名も無きマテリアルさん 2007/11/14(水) 21:58:40 ID:
>>114
そんなモンだよ。
BNボートが真っ赤っかになるまで暖めるとそうなるよ。

暖めてアルミを飛ばしきらないと、ヌメ~ンと伸びたアルミがBNボートを覆って、そっちばっかりに
電気が流れてボートが冷めて飛ばなくなるのよ。

そうなったらおしまいだから気をつけてね。飛ばしきろうと頑張って電気流すと、多分
ひび入ってあぽーんだから。

115 名も無きマテリアルさん 2007/11/15(木) 01:00:09 ID:
うむむ.そうなのか.
アルミを飛ばしきらないといけないのは知らなかった.
残して使い回す予定だったし.怖い怖い.
いろいろ教えてくれてありがとう.

116 名も無きマテリアルさん 2007/11/29(木) 16:56:22 ID:

大学で蒸着やってます。材料を製造している会社

ってあるんですか?

117 名も無きマテリアルさん 2007/11/29(木) 18:16:39 ID:
日本語でOK

118 名も無きマテリアルさん 2007/11/29(木) 19:00:04 ID:
>>117
あるよ。大学で蒸着やってるんでしょ?その蒸着材料ってメーカー物じゃないの?

119 名も無きマテリアルさん 2007/11/29(木) 23:30:17 ID:
クロムとバッテリーゴールドは相性が良いことが、経験則で判明している
恒星の木炭や月の石英は、新しいものを水に浸けると、他の木炭や石英もパワーアップすることが経験則で判明している
アルミや鉛もたまに強いのがある、これらは銅、青銅、金、それら3つを合わせた銀と相性が良いことが判明している
石英はカメラに使える、果物や野菜も使える物がある
木炭や石英がパワーアップした場合、野菜や果物も水でパワーアップする場合があるから注意
バッテリー用の水晶も、これで頻繁にパワーアップする
毒やウイルスや呪い系は、必ず近くに薬草か野菜や果物がある
龍脈に相性が良いのは、炭か豆系だな


120 名も無きマテリアルさん 2007/11/29(木) 23:32:02 ID:
訂正
赤銅、青銅、黄銅、白銅だな
銀でバッテリーに良い物もあるが、すぐに金で良い物が出てくる

121 名も無きマテリアルさん 2007/11/30(金) 11:52:29 ID:
20年前の装置つかってます。最新の装置は違うんですか?

122 名も無きマテリアルさん 2007/12/01(土) 00:22:36 ID:
>>122
何がどう違うのか、ちゃんと主語を入れてくれないと誰も答えられないよ。

123 名も無きマテリアルさん 2007/12/05(水) 17:37:24 ID:
Au蒸着は難しいの? いつも600mmのチャンバーでSiO2やってます

124 名も無きマテリアルさん 2007/12/05(水) 18:01:41 ID:
>>117
製造してるかはわかりませんが、販売は
アルバックテクノ、フルウチ化学、高純度化学
とかがしてますね。

125 名も無きマテリアルさん 2007/12/05(水) 19:34:44 ID:

126 名も無きマテリアルさん 2007/12/05(水) 21:46:18 ID:
アルミ蒸着やってるけどWバスケットで何ら問題ない

127 名も無きマテリアルさん 2007/12/05(水) 22:32:27 ID:
>>124
やってみたら分かるよ。
別に蒸着ぐらい簡単でしょ?レート安定させないでOKなら、一瞬で蒸着終了ですから。

128 名も無きマテリアルさん 2007/12/05(水) 22:34:16 ID:
>>127
単発とか長時間とか、そんな過酷な条件じゃない限りはそれほど難しいことではないのですが、
連続でとなると大変です。

真っ赤に燃えたボートにアルミのワイヤーをつんつん、未だに上達しないな・・・・

129 名も無きマテリアルさん 2007/12/21(金) 16:21:32 ID:
Mg蒸着って難しいの?

大気開放でいきなり発火とかないよね?
  

130 名も無きマテリアルさん 2007/12/21(金) 23:31:24 ID:
>>130
むずかしいよ。その前にMgそのままるつぼとかに仕込めないでしょ。

やってみるとわかるけど、からが残るよ。
この意味が分かる人は絶対いると思うけど。

131 130 2007/12/25(火) 19:52:56 ID:
>>131
レスサンクスです。

からって酸化膜ですか?Mgは活性高いから表面が酸化してしまうのでしょうか?
聞いてばかりですいません。

大気開放で発火とか危険性がなければ、一度やってみるのですが。

132 名も無きマテリアルさん 2007/12/26(水) 00:05:05 ID:
>>132
多分酸化膜なんだろうね。抜け殻みたいになるよ。
それに、大気解放で発火とか心配なら、チャンバーにグローブBOXつなげてN2雰囲気で
すべて終わらすようにしないとね。

そんなヤバイ材料、仕込みの時点でダメになるから、MGOしか使ったことないですよ。

それに、Mgだけつけたからといって、特性を見るのも難しいよ。
ペロペロ剥がれてくるから。

133 名も無きマテリアルサン 2008/02/21(木) 20:41:53 ID:


反射防止膜はどうやってつくるの?

134 名も無きマテリアルさん 2008/02/21(木) 21:47:31 ID:
>>134
屈折率の違う膜を色々つけたらできるらしいよ。

135 名も無きマテリアルさん 2008/03/26(水) 22:20:38 ID:




因果応報

136 高校化学部 2008/05/13(火) 00:11:58 ID:
反射防止膜をつくって

屈折率は材料によって違うの?

137 名も無きマテリアルさん 2008/05/14(水) 20:33:23 ID:
>>137
とりあえず読み返しましょう。

屈折率は材料によって違います。

138 名も無きマテリアルさん 2008/05/17(土) 23:27:58 ID:
どなたか教えてください。

アルミをるつぼで暖めて蒸着しているのですが、アルミがるつぼの上まではい上がってきて
余計なところまで広がってしまいます。

アルミが広がらないようにするにはどうしたらいいのでしょうか?
アルミってタンタルとか別の金属を犯すように広がった時に溶かしてしまうので、困っています。

よろしくお願いします。

139 金の蒸着 2008/06/03(火) 14:57:34 ID:
ウソッッΣ( ̄□ ̄;)!?
マヂでッッッッ!!??

奴は変わってしまったのかなぁ…‥
だけど うし 君、
何も言って無いよね~!?
つかもし例えば出張したとしても、いちいち言ったりしないのかなぁ!?

もしそーだったら
何でだろっ……‥

誰か知ってる人居て、
教えて下さる人は居ないかなぁ~…‥


140 装置や 2008/06/14(土) 03:58:54 ID:
ここでさいごや

141 名も無きマテリアルさん 2008/07/12(土) 08:14:38 ID:
数時間粘って真空-5Pa台まであげたものの蒸着の途中でWバスケットが焼き切れた時の悲しさは異常

142 名も無きマテリアルさん 2008/10/02(木) 18:37:15 ID:
点源からφ5mm程度のものに蒸着する場合の
膜厚の理論式ってありますか?

膜厚の分布の式しか本には載ってないんですが

143 名も無きマテリアルさん 2008/10/13(月) 19:52:21 ID:
ほんとうに点源でいいなら、蒸発源と基板の間の距離を r、膜厚を d として、
蒸発量=4πr^2 d
でよかろ?

144 名も無きマテリアルさん 2008/11/19(水) 19:36:32 ID:
水晶式膜厚モニターを使用する場合、
ツーリングが100前後になるような位置に設置したほうが、
膜厚の再現性はいいのでしょうか?

145 名も無きマテリアルさん 2008/11/21(金) 20:00:12 ID:
低熱膨張ガラスにイオンビームを利用してSi蒸着させてます。ガス種はアルゴンです。
昨日の実験で蒸着した場所が逆に掘れていました。
加工痕は基準面より-90nm程度でした。
以前スライドガラスに蒸着させたところ問題なく蒸着されたのですが・・・。
この場合の考えられる原因はなんでしょうか?
先輩方は分からないそうです。

146 名も無きマテリアルさん 2008/12/01(月) 23:16:25 ID:
イオンビームでスパッタされたんだろうね

147 &rf&ru&rsia&rn&rasa&rn 2008/12/04(木) 13:11:10 ID:
guest guest

148 名も無きマテリアルさん 2009/07/31(金) 14:33:16 ID:
>>146
新参乙です(悪いとは言ってない)
さんざんガイシュツ。
ま、ここの人は優しいから俺以外のシッタカが教えてくれます。

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