CMP(平坦化)装置について

1 名も無きマテリアルさん 2001/09/26(水) 18:48:00 ID:
だれかCMP装置業界の人いたら教えてください。
たとえば開発の状況であるとか、シェアについてとか。
自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、実務経験がないと
どこも採ってくんないみたいで…。

2 えーっと 2001/10/04(木) 23:26:00 ID:
1位 AMAT(60-70%) 2位荏原製作所 3位 IPEC その他(LamResearch、

東京精密、他)

AMATは従来回転定盤方式、IPECはOrbital方式、LamはLinear方式。

後の方ほど革新的と言われている。特に300mmウェハ等に有利。

CMPは遊離砥粒研磨(粉の入った研磨剤使用)だが、固定砥粒方式(サンド

ペーパみたいなので研磨)というのも注目されている。AMATが熱心。

これになると装置が大幅に変わる。

銅配線は来年あたりから普及するので、各社シェア争いが盛ん。

装置の性能よりもサービス体制の充実度などが選考のポイントになる。

3 名も無きマテリアルさん 2001/10/20(土) 01:10:00 ID:
> 自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、
> 実務経験がないとどこも採ってくんないみたいで…。

そうでもないよ。

4 名も無きマテリアルさん 2001/10/21(日) 20:50:00 ID:
LamResearch
台湾でシェア拡大中!!

5 やくると 2001/10/23(火) 00:05:00 ID:
東京精密って、まだやってたんだ。

6 ◆83hcduWk 2002/01/02(水) 01:09:00 ID:

7 名も無きマテリアルさん 2002/01/13(日) 12:57:00 ID:

8 名も無きマテリアルさん 2002/01/13(日) 13:11:00 ID:

9 名も無きマテリアルさん 2002/01/14(月) 19:54:00 ID:

10 名も無きマテリアルさん 2002/01/14(月) 19:56:00 ID:

11 test 2002/04/17(水) 16:37:00 ID:

12 test 2002/04/17(水) 16:37:00 ID:

13 ◆NL9zz1tw 2002/07/15(月) 00:17:00 ID:

14 名も無きマテリアルさん 2002/07/20(土) 02:58:00 ID:
もしかして…

15 名も無きマテリアルさん 2002/07/23(火) 01:04:00 ID:
なんだよ、みんな見られねージャねーか

16
あぼーん

17 山崎渉 2003/01/06(月) 15:32:00 ID:
(^^) 

18 山崎渉 2003/03/13(木) 13:30:00 ID:
(^^)

19 山崎渉 2003/04/17(木) 09:08:00 ID:
(^^)

20
あぼーん

21
あぼーん

22
あぼーん

23
あぼーん

24
あぼーん

25 名も無きマテリアルさん 2003/12/17(水) 21:25:00 ID:
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26 名も無きマテリアルさん 2003/12/17(水) 21:28:00 ID:
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27 名も無きマテリアルさん 2004/03/05(金) 02:16:00 ID:
>>1
まずは自分を磨け。

28 Nanashi_et_al 2004/03/20(土) 08:02:00 ID:
しらんne

29 名無しさん@3周年 2004/05/02(日) 09:03:00 ID:
CMPに使う研磨剤ってどこがシェア高いの?
海外から色々売り込みにくるので、誰かお願いします!

30 名も無きマテリアルさん 2004/05/03(月) 09:50:00 ID:
『キャボット』
かな~??
日本だと、日立化成、JSRあたり

31 sage 2004/05/03(月) 17:19:00 ID:
ロデール使用

32 名無しさん@3周年 2004/05/03(月) 19:28:00 ID:
31,32さんに感謝します

33 名も無きマテリアルさん 2004/05/03(月) 20:26:00 ID:
ロデールはパッドでは?

34 sage 2004/05/03(月) 22:34:00 ID:
少量ですが出荷してます

35 名も無きマテリアルさん 2004/05/04(火) 00:08:00 ID:
うんこーくれ!!!!!

36 名も無きマテリアルさん 2004/05/13(木) 22:17:00 ID:
ロデール以外でいいパッドってありませんか?

37 名も無きマテリアルさん 2004/09/27(月) 23:43:24 ID:
東京精密のチャンプってどうよ?

38 名も無きマテリアルさん 2005/06/07(火) 16:51:34 ID:
sage

39 名も無きマテリアルさん 2005/07/09(土) 23:47:47 ID:
>>37
残念ながら有力候補なし。
何で均一性悪いの????

40 774& ◆FJotLDPJXU 2005/07/11(月) 07:13:00 ID:
>CMPに使う研磨剤ってどこがシェア高いの?

ロデールだろう。ロデールニッタって言う商社を通てして販売してている
後はサイトン ここはロデールより安い
あと日産化学もある

>PAD
大阪の千代田っていう商社が売ってる第一レース社のPADも悪くない
あと繊維やってるユニチカとかやってたかも?

41 774& ◆FJotLDPJXU 2005/07/12(火) 10:56:53 ID:
ロデールは奈良県の工場にデモ装置とかがあり
実験も可能

42 名も無きマテリアルさん 2005/07/14(木) 12:32:24 ID:
>>41
ロデールニッタがパッドのメーカーです。

(ニッタ本社とロデール社との合弁会社だったと思う。
ちなみにニッタ社はベルトメーカーであり、自動車学校や牧場を経営している。
工場見学した際、牧場で作っていたバターをプレゼントされた)


ロデールアジアだったと思うけども、そこが販社となって販売している

43 名も無きマテリアルさん 2005/07/14(木) 12:38:18 ID:
ちなみに工場見学したほうは岐阜の工場の方。
ニッセンていうカタログ通販の配送センターの隣の敷地に工場を構えてパッドの生産をしている。

立ち上げ当初はロデール本社から立ち上げ要員として人が来ていた様だ。

岐阜の工場にはデモ装置はなかった。

連続カキコスマソ

44 名も無きマテリアルさん 2005/07/15(金) 00:06:13 ID:
>>30

キャボットが世界で8割のシェアといわれている

しかし、インテルはフジミインコーポレットを提携会社としているらしい。
最近までフジミの株価はすごかったが最近は落ち着いたようだ


45 名も無きマテリアルさん 2005/07/19(火) 19:27:34 ID:
A社は最低 説明する営業がまったくわかっとらん 
E社がまともである

46 名も無きマテリアルさん 2005/08/04(木) 22:03:03 ID:
A:Applied Materials
E:EBARA

47 名も無きマテリアルさん 2005/08/05(金) 18:21:19 ID:
>>45
うちには世界シェアの5割がフジミだって言ってたけど・・・・

48 CMPリング 2005/08/11(木) 17:23:02 ID:
CMPリングについて教えて下さい。
CMPリングは皆さん純正品を購入しているのでしょうか?
それともほとんどセカンド品を購入しているのでしょうか?
セカンド品はどんなところがありますか?どこのがいいですか?シェアは?

49 名も無きマテリアルさん 2005/08/21(日) 20:39:15 ID:
>>49
リング?
リテーナリングのこと?

50 CMPリング 2005/08/23(火) 13:43:59 ID:
そうです。リテナーリングです。
リングの供給状況が知りたくて。
やっぱりアプライドとか荏原の純製品ですかね。
レスお願いします。

51 774& ◆FJotLDPJXU 2005/08/24(水) 10:48:51 ID:
Kセラでいいと思うが図面ある?

52 CMPリング 2005/08/24(水) 15:00:00 ID:
すいません。PPSだったら、どこがあります?

53 名も無きマテリアルさん 2005/09/26(月) 22:15:45 ID:
>>48
層間絶縁膜用はキャボットでしょ
(と聞いたが)

スラリーといっても研磨する膜で種類が変わってくるからね

それでシェアに違いが出てくるんじゃなかろうか?

54 名も無きマテリアルさん 2005/09/26(月) 22:22:28 ID:
うちは荏原の純正を使ってた
その中でもいろいろあるようだが・・・・

図面があってもどのくらいの誤差まで作りこまなきゃ
行かんのかでまた話が変わってくるよね

下手するとウエハ脱落するし


K精きなんかが作ってそう



工場なんでいきなり評価がまったくできんよ


55 名も無きマテリアルさん 2006/05/31(水) 03:59:06 ID:
CMP部門に採用になった。

56 名も無きマテリアルさん 2006/06/02(金) 00:53:51 ID:
>>56
気の毒に・・・・・・

CMPと言う技術はしばらくはフラグシップ的な花形要素技術だが
なかにいる人は・・・・・
無理はするなよ

57 名も無きマテリアルさん 2006/06/02(金) 22:36:56 ID:
CMPがどんな役割のするのがいまいち不明なのですが
プロセスに詳しい方教えて下さい
ウェハーの細分化?に必要らしいですが

ようは研磨してウェハーには何のメリットがあるのでしょうか?

58 名も無きマテリアルさん 2006/06/04(日) 04:22:43 ID:
>>57
中にいる人はどうなの?
教えて。

59 名も無きマテリアルさん 2006/06/04(日) 07:13:50 ID:
コロイダルシリカまみれ
手はあれるし髪の毛はパサパサになるし

60 名も無きマテリアルさん 2006/06/04(日) 11:32:13 ID:
スラリーで?
手袋するでしょう?

61 名も無きマテリアルさん 2006/06/04(日) 12:42:15 ID:
>>58

なんかレスがついてて驚いた

まずググってからだ
過去ログの言葉の意味が分かるようになったらレスしてくれ
話はそれからだ

ひとついうが、プロセス部門はどこも大変
当たり前だが・・・・


62 名も無きマテリアルさん 2006/06/16(金) 18:31:01 ID:
今、CMPでいい会社ってどこですか?
大雑把すぎる質問だけど・・・

63 名も無きマテリアルさん 2006/06/16(金) 19:22:19 ID:
>>63
AMJと荏原

64 名も無きマテリアルさん 2006/06/16(金) 23:32:46 ID:
返事はなしか・・・・・・

65 名も無きマテリアルさん 2006/06/16(金) 23:57:13 ID:
>>64
ほほ~う
やはりそうなんですか。
レスありがとう!

66 名も無きマテリアルさん 2006/06/16(金) 23:58:26 ID:
>>65
ごめん!
しばらく見れなかったから。

67 名も無きマテリアルさん 2006/06/18(日) 00:01:41 ID:
MIRA 腐ってる

68 名も無きマテリアルさん 2006/06/18(日) 14:25:05 ID:
>>64
この2社のどちらかでないと相当きついと思う

ある会社に研磨の依頼を受けて削ったが
出来のよさにその会社は数ヵ月後導入を決めた
それで仕事が減ったわけだが・・・

技術陣だけの努力だけでは話にならない
迷っているうちに他の会社はどんどん研磨しまくって減価償却をしてるよ

69 名も無きマテリアルさん 2006/06/21(水) 10:44:19 ID:
ttp://www.youtube.com/watch?v=7kMlgrPpDXg&mode=related&search=intel%20process

さわるなwww

70 名も無きマテリアルさん 2006/06/21(水) 20:02:12 ID:
研磨しても膜厚がバラツク。
Uniformityで10%も誤差が出る

なんかいい方法はないか?

特に金属膜


71 名も無きマテリアルさん 2006/06/22(木) 00:11:48 ID:
>>71
装置メーカーに怒鳴り込む

72 名も無きマテリアルさん 2006/06/22(木) 09:21:00 ID:
>>71
当たり前だがそれが会社のノウハウでしょ
書く奴いないと思うよ


金属膜はよく分からん。72氏のような書き方になる
あとは前工程に文句言え
意外と最近は他工程の精度が甘い
それでも叩かれるCMP

しってるなら会社に迷惑かかるしな

73 名も無きマテリアルさん 2006/06/24(土) 09:27:33 ID:
焼肉のたれ 内部者ですが

秘密にしておきます

74 名も無きマテリアルさん 2006/06/24(土) 10:35:36 ID:
74氏

本当は知らないだろ
藤沢のデモ機でどうにかなるわけでもあるまい

75 名も無きマテリアルさん 2006/06/24(土) 16:51:01 ID:
もともと
焼肉のたれがCMPつくることが
できたのは
と押し葉 からの依頼と聞いたけど
もともと下水屋とかプラント屋だったんだから
場違いな感じがしない?

高層化してきたから
CMPが不可欠なんでしょ?
じっしつ日本のシェアはたれがトップなんだし

76 名も無きマテリアルさん 2006/06/25(日) 19:54:07 ID:
>>76
もっとマシな釣りをしてくれ

他のエンジニアの方々が引いてしまうではないか

77 名も無きマテリアルさん 2006/07/08(土) 10:48:08 ID:
おい、>>77
どこが釣りなのか教えてくれ。

78 自堕落技術者 2006/07/21(金) 10:47:02 ID:
最近ではFPD業界の平坦化に関して、CMP部材メーカーが力を入れている・・・
ニッタ・ハースやらキャボットやら・・・ 

79 名も無きマテリアルさん 2006/07/24(月) 01:54:45 ID:
ガラス基板も平坦化の必要性があんの?

80 自堕落技術者 2006/07/24(月) 13:36:15 ID:
ガラス基板の平坦化は勿論だけど、基板上に形成される表示部の平坦度と粗さが大事。
液晶自体が薄膜化が進み、セルギャップに影響が出てしまいます。

81 名も無きマテリアルさん 2006/08/07(月) 17:21:22 ID:
なんでもかんでも平坦に出来ると思いやがって
成膜のバラツキをCMPでカバーなんで出来ない

82 名も無きマテリアルさん 2006/08/07(月) 22:24:41 ID:
>>82
ハゲドウ
CMPは前後のプロセスから異端視されてるし

しかしこれといった解決法の決め手にかけるね
工場で評価ってどうしてるの?
リングやドレスを変えての評価が出来なさ杉

83 名も無きマテリアルさん 2006/08/13(日) 16:47:32 ID:
なぜCMPのグループだけ組合集会に呼ばれないのですか?

84 も無きマテリアルさん 2006/08/14(月) 20:05:39 ID:
なんか消耗材メーカーに納入している材料メーカーをコントロールしないと
うまくコントロールできない領域になってきたよw
年間通じて、消耗材が安定していない。波打っているぞ。
ダイヤが原因か?ユダヤの陰謀だなw

85 名も無きマテリアルさん 2006/08/15(火) 13:23:02 ID:
>>84
こんなグループと関わったら仕事が増えると思ってるだろ
数年で4人退職した
こりゃ異常だろ

86 名も無きマテリアルさん 2006/08/16(水) 23:25:27 ID:
【鬱/過労死】携帯電話開発の現状【奴隷】Phase0x0D
http://pc8.2ch.net/test/read.cgi/prog/1155389566/l50

87 名も無きマテリアルさん 2006/09/03(日) 23:52:54 ID:
【シベリア抑留】携帯電話開発の実態【未満】0x0E
http://pc8.2ch.net/test/read.cgi/prog/1157178563/l50

88 名も無きマテリアルさん 2006/09/28(木) 00:44:33 ID:
【思想改造】地獄の携帯電話開発【キャンプ】0x0F 
http://pc8.2ch.net/test/read.cgi/prog/1159362752/l50

89 名も無きマテリアルさん 2006/11/05(日) 23:46:03 ID:
消え行く日本の物作り。携帯電話開発は今 0x10
http://pc8.2ch.net/test/read.cgi/prog/1162694477/l50

90 スラリー 2006/11/17(金) 13:15:29 ID:
Cu用のスラリー高額だそうですね。
ILD用に比べて何倍くらいになるんですか?

91 名も無きマテリアルさん 2006/11/18(土) 08:23:06 ID:
お願いですからクロスパッドを購入してください。

92 名も無きマテリアルさん 2006/12/16(土) 23:10:49 ID:
>>92
もしかしてnittaの中の人??

93 名も無きマテリアルさん 2006/12/25(月) 21:51:51 ID:
ディスコはどうでぃすこ?ギャハh

94 名も無きマテリアルさん 2007/01/26(金) 23:46:03 ID:
メタルCVDのプロセス技術に嫌いなやつがいる
今日、大事なテスト品を持ってきたが、頭にきたので
全部研磨してやった。
ざまーみろ

95 名も無きマテリアルさん 2007/01/31(水) 00:49:59 ID:

湿式等方性エッチングではなく、CMPしてしまう君に乾杯

96 名も無きマテリアルさん 2007/02/18(日) 11:39:43 ID:
( ̄ω ̄)

97 名も無きマテリアルさん 2007/05/20(日) 01:37:13 ID:
AM○TのCMPと

EBA○AのCMPの違いって何?

98 名も無きマテリアルさん 2007/05/21(月) 23:48:38 ID:
メーカーが違う
IFが違う

99 名も無きマテリアルさん 2007/05/21(月) 23:59:39 ID:
もっと具体的に

100 名も無きマテリアルさん 2007/05/22(火) 10:30:55 ID:
何が知りたいんだ、お前は

101 名も無きマテリアルさん 2007/05/22(火) 21:34:55 ID:
>99
細かい仕様が違う。詳しくは書けないが、一つ一つのプロセスが
細かく違っているんだ。

102 名も無きマテリアルさん 2007/10/06(土) 18:39:32 ID:
CMP って誰が始めたの?

103 名も無きマテリアルさん 2008/07/31(木) 02:21:55 ID:
AM○TのCMPと

EBA○AのCMP

具体的な違いってどこ?

104 名も無きマテリアルさん 2009/02/20(金) 23:33:59 ID:
ウェハの固定方法やら圧の掛け方やらなんやらが違うんでねーの?

105 名も無きマテリアルさん 2009/05/29(金) 12:03:28 ID:
最近EBA○AのCMPはAM○TのCMPのコピー技術を使いすぎてる。
でも、AM○Tがそれを追求してるようには感じない。

CMPというプロセスが半導体製造において近い将来なくなるからだろう。
このことはアルバニーやT死場等のプロセス部隊が説明をしだしているからな。

106 名も無きマテリアルさん 2009/06/29(月) 01:39:12 ID:
あげ

107 名も無きマテリアルさん 2009/07/04(土) 09:32:56 ID:
代替技術は何よ?

108 名も無きマテリアルさん 2009/08/29(土) 12:19:48 ID:
無いよ

109 名も無きマテリアルさん 2009/10/04(日) 01:39:24 ID:
プロセスはドカタなんだよ
技術ぶるな、現場の現業だよ

110 名も無きマテリアルさん 2010/07/19(月) 18:39:40 ID:
AM○Tは相変わらずだし、EBA○Aもだ。
CMPだろうがCVDだろうがドライエッチだろうが所詮は大手デバイスメーカの奴隷。
昔は日系デバイスメーカが大きな顔して『評価してあげるから、評価用装置もっといで』などと言ってた。
今はイン・サム・タイの3社プラスαで日系企業は装置メーカに相手にされてません。

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